TY  - BOOK
AU  - Pelesko,J.A & Bernstein,D.H
ED  - Bernstein, D.H
TI  - Modeling MEMS & NEMS
SN  - 9781584883067
U1  - 14.05+14.01 
PY  - 2003///
CY  - London
PB  - Chapman & Hall/CRC
ER  -